B体育已开始组装阿斯麦(ASML)的高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻机,
去年12月B体育B体育,阿斯麦确认向英特尔交付首台高数值孔径极紫外光刻系统,这台机器的售价高达3.5亿欧元(约合27亿元人民币)。
英特尔光刻主管马克菲利普斯表示:“我们在决定购买这些设备时就已经认可了它们的价格。如果我们不认为这些设备物有所值,我们根本不会采购。”
除了英特尔外B体育,台积电、三星B体育、SK海力士和美光等也都订购了这款机器,但由于该设备的运输和安装可能需要长达六个月的时间,因此英特尔此举已经领先了对手至少半年。
英特尔虽曾参与开发极紫外光刻技术,但在开始使用阿斯麦首款极紫外光刻机上却晚于其竞争对手台积电B体育,基辛格也承认,这是一个严重的失误。
菲利普斯也表示:“现在我们已经有了期待已久的新一代极紫外光刻机,我们不想再犯过去的错误。”